Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm thực sự được sản xuất như thế nào?

Các phương pháp kẹp wafer truyền thống bao gồm kẹp cơ học thường được sử dụng trong các ngành cơ khí truyền thống và liên kết sáp, cả hai phương pháp này đều có thể dễ dàng làm hỏng wafer, gây cong vênh và làm nhiễm bẩn nó, ảnh hưởng đáng kể đến độ chính xác của quá trình xử lý.

Máy hút chân không đã phát triển như thế nào và tại saoMâm cặp tĩnh điện bằng gốmƯu tiên?

Theo thời gian, mâm cặp chân không làm từ gốm xốp đã được phát triển. Những mâm cặp này sử dụng áp suất âm được hình thành giữa tấm bán dẫn silicon và bề mặt gốm để giữ tấm bán dẫn, điều này có thể gây biến dạng cục bộ và ảnh hưởng đến độ phẳng. Vì vậy, trong những năm gần đây,mâm cặp tĩnh điện bằng gốm, cung cấp lực hấp phụ ổn định và đồng đều, ngăn ngừa ô nhiễm tấm bán dẫn và kiểm soát hiệu quả nhiệt độ của tấm bán dẫn silicon, đã trở thành công cụ kẹp lý tưởng cho các tấm bán dẫn siêu mỏng.

Quy trình sản xuất củaMâm cặp tĩnh điện bằng gốmĐã tiến hành?

Nói chung, công nghệ đồng nung gốm nhiều lớp được sử dụng, bao gồm các quy trình như đúc băng, cắt lát, in lụa, cán màng, ép nóng và thiêu kết.

Đối với loại Coulombmâm cặp tĩnh điện, lớp điện môi không chứa vật liệu dẫn điện. Nó liên quan đến việc trộn bột gốm, dung môi, chất phân tán, chất kết dính, chất làm dẻo và chất hỗ trợ thiêu kết để tạo ra hỗn hợp bùn ổn định. Sau đó, hỗn hợp này được phủ bằng lưỡi dao bác sĩ, sấy khô và cắt lát để tạo thành các tấm gốm xanh có độ dày cụ thể. Đối với loại JRmâm cặp tĩnh điện, các bộ điều chỉnh điện trở suất bổ sung (vật liệu dẫn điện) được trộn lẫn để đạt được điện trở cần thiết của lớp J-R, sau đó là đúc băng để tạo thành các tấm màu xanh lá cây.

In lụa chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị lớp điện cực. Chất dẫn điện đầu tiên được đổ vào một đầu của tấm in lụa. Dưới tác động của chổi cao su trên máy in màn hình, chất dán dẫn điện sẽ đi qua các lỗ lưới của tấm màn hình và đọng lại trên bề mặt. Quá trình in hoàn tất khi chổi phết đều lớp dán bạc qua lưới màn.

Các tấm gốm xanh được xếp chồng lên nhau theo thứ tự yêu cầu (lớp nền, lớp điện cực, lớp điện môi) và số lớp. Sau đó, chúng được ép lại với nhau dưới điều kiện nhiệt độ và áp suất cụ thể để tạo thành một vật thể xanh hoàn chỉnh. Điều quan trọng là phải đảm bảo rằng áp suất được phân bổ đều trên toàn bộ bề mặt của thân xanh để đảm bảo độ co đồng đều trong quá trình nén.

Cuối cùng, thân xanh hoàn chỉnh trải qua quá trình thiêu kết tích hợp trong lò nung. Cấu hình nhiệt độ phù hợp phải được thiết lập để đảm bảo kiểm soát độ phẳng và độ co ngót trong quá trình thiêu kết. Được biết, NGK của Nhật Bản có thể kiểm soát độ co ngót của bột trong quá trình thiêu kết đến khoảng 10%, trong khi hầu hết các nhà sản xuất trong nước vẫn có độ co ngót từ 20% trở lên.**

Chúng tôi tại Semicorex có kinh nghiệm trong việc cung cấp các giải pháp về Mâm cặp tĩnh điện bằng gốmVàvật liệu gốm sứ khácáp dụng trong lĩnh vực bán dẫn và quang điện, nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm thông tin chi tiết, vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Điện thoại liên hệ: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com