Chức năng của Vòng lấy nét là gì?

Vòng lấy nét là thành phần thiết yếu để đảm bảo tính đồng nhất và ổn định của quá trình khắc chất bán dẫn. Thông qua việc điều khiển chính xác điện trường và nhiệt, các vòng lấy nét có thể tập trung plasma trên bề mặt tấm bán dẫn, đảm bảo kết quả ăn mòn nhất quán trên tất cả các vị trí trên tấm bán dẫn.

Chức năng của vòng lấy nét

1. Cải thiện tính đồng nhất của quá trình khắc

Trong quá trình khắc, vòng lấy nét có thể tập trung plasma vàobánh xốpbề mặt, đảm bảo hiệu quả mật độ plasma đồng đều, góc bắn ion và mức năng lượng trên cả vùng rìa và vùng trung tâm của wafer. Chúng điều chỉnh sự phân bố điện trường ở cạnh tấm bán dẫn, giảm tốc độ ăn mòn, kích thước tới hạn và các biến thể hình thái do hiệu ứng cạnh gây ra, do đó đảm bảo tính nhất quán ăn mòn trên toàn bộ bề mặt tấm bán dẫn. Nếu vòng lấy nét bị mòn quá mức hoặc không có vòng tiêu cự, plasma sẽ khuếch tán từ mép tấm bán dẫn, cuối cùng gây ra độ lệch không phù hợp về độ rộng đường giữa vùng rìa và vùng trung tâm.

2. Bảo vệ mâm cặp tĩnh điện

Vòng lấy nét thường được lắp đặt bên ngoài bề mặt mang wafer của mâm cặp tĩnh điện, tiếp xúc trực tiếp với sự bắn phá và ăn mòn plasma. Việc lắp đặt lắp đặt này đóng vai trò là rào cản vật lý ngăn chặn plasma tiếp xúc với mâm cặp tĩnh điện trong quá trình ăn mòn, do đó làm giảm đáng kể nguy cơ hư hỏng plasma. Vòng lấy nét cũng có thể ngăn chặn các sản phẩm phụ được tạo ra trong quá trình ăn mòn bám vào mâm cặp tĩnh điện, do đó tránh được sự suy giảm hiệu suất do nhiễm bẩn và tắc nghẽn mâm cặp. Điều này giúp kéo dài đáng kể chu kỳ bảo trì và tuổi thọ của mâm cặp tĩnh điện, giảm chi phí bảo trì và thay thế thiết bị.

Vòng lấy nét thường được làm từ chất liệu có độ tinh khiết caothạch anh, silicVàcacbua silicnguyên vật liệu. Nhờ hiệu suất toàn diện tuyệt vời của chúng, vật liệu cacbua silic dần trở thành lựa chọn chủ đạo cho các quy trình khắc tiên tiến. Là nhà cung cấp vòng lấy nét bán dẫn đáng tin cậy ở Trung Quốc, Semicorex cung cấp vòng lấy nét chất lượng caovòng tập trung cacbua siliccó kích cỡ khác nhau để phù hợp với các yêu cầu khác nhau của thiết bị khắc. Semicorex hoan nghênh các yêu cầu và mua hàng của bạn bất kỳ lúc nào.