Vòi sen khắc

Đầu vòi sen cacbua silic (SiC) là thành phần chính trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn, đóng vai trò quan trọng trong các quy trình tiên tiến như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng lớp nguyên tử (ALD).

Chức năng chính của mộtvòi hoa sen SiClà phân bố đều các khí phản ứng trên bề mặt wafer, đảm bảo các lớp lắng đọng đồng nhất và nhất quán. Trong các quy trình CVD và ALD, sự phân bố đồng đều các khí phản ứng là rất quan trọng để đạt được màng mỏng chất lượng cao. Cấu trúc và đặc tính vật liệu độc đáo của vòi hoa sen SiC cho phép phân phối khí hiệu quả và dòng khí đồng đều, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về chất lượng và hiệu suất màng trong sản xuất chất bán dẫn.

là phân bố đều các khí phản ứng trên bề mặt wafer, đảm bảo các lớp lắng đọng đồng nhất và nhất quán. Trong các quy trình CVD và ALD, sự phân bố đồng đều các khí phản ứng là rất quan trọng để đạt được màng mỏng chất lượng cao. Cấu trúc và đặc tính vật liệu độc đáo của vòi hoa sen SiC cho phép phân phối khí hiệu quả và dòng khí đồng đều, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về chất lượng và hiệu suất màng trong sản xuất chất bán dẫn.

Đầu sen SiC được sử dụng rộng rãi trong sản xuất mạch tích hợp, hệ thống vi cơ điện tử (MEMS), chất bán dẫn điện và các lĩnh vực khác. Ưu điểm về hiệu suất của chúng đặc biệt rõ ràng trong các nút quy trình nâng cao yêu cầu lắng đọng có độ chính xác cao, chẳng hạn như các quy trình 7nm và 5nm trở xuống. Chúng cung cấp sự phân phối khí ổn định và đồng đều, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của lớp lắng đọng, từ đó cải thiện hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn.

Semicorex cung cấp tùy chỉnhCVD SiCVàSilicon vòi hoa sendựa trên nhu cầu của khách hàng. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com