Vòi hoa sen bán dẫn

CácTấm phân phối khí, thường được gọi là "vòi hoa sen", có thể giống như một vòi hoa sen thông thường, nhưng giá của nó có thể đạt tới hàng trăm ngàn, cao hơn đáng kể so với vòi hoa sen phòng tắm thông thường.

Bề mặt của tấm phân phối khí có hàng trăm hoặc thậm chí hàng ngàn lỗ nhỏ, được sắp xếp chính xác, giống như một mạng lưới thần kinh được dệt tinh xảo. Thiết kế này cho phép kiểm soát chính xác dòng khí và góc phun, đảm bảo rằng mọi phần của khu vực xử lý wafer đều được "tắm" trong quá trình khí. Điều này không chỉ tăng cường hiệu quả sản xuất mà còn cải thiện chất lượng sản phẩm.

Tấm phân phối khí là tích hợp với các quá trình chính như làm sạch, khắc và lắng đọng. Nó ảnh hưởng trực tiếp đến tính chính xác của các quá trình bán dẫn và chất lượng của các sản phẩm cuối cùng, làm cho nó trở thành một thành phần quan trọng trong các ứng dụng phân phối khí khác nhau.

Trong quá trình phản ứng wafer, bề mặt củavòi hoa senđược bao phủ dày đặc với micropores (khẩu độ 0,2-6 mm). Thông qua cấu trúc kênh được thiết kế chính xác và đường dẫn khí, khí đặc biệt cần đi qua hàng ngàn lỗ nhỏ trên tấm khí đồng đều và sau đó được lắng đọng đều trên bề mặt wafer. Lớp phim ở các khu vực khác nhau của wafer cần đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán cao. Do đó, ngoài các yêu cầu cực kỳ cao đối với độ sạch và khả năng chống ăn mòn, tấm phân phối khí còn có các yêu cầu nghiêm ngặt về tính nhất quán của khẩu độ của các lỗ nhỏ trên tấm phân phối khí và các khối trên thành bên trong của các lỗ nhỏ. Nếu độ lệch chuẩn kích thước khẩu độ và độ lệch chuẩn tính nhất quán quá lớn hoặc có các khối trên bất kỳ bức tường bên trong nào, độ dày của lớp màng lắng sẽ khác nhau, điều này sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất quá trình của thiết bị.

Vật liệu của tấm phân phối khí đôi khi là vật liệu giòn (như silicon tinh thể đơn, thủy tinh thạch anh, gốm sứ), dễ bị phá vỡ dưới tác động của lực bên ngoài. Nó cũng là một lỗ hổng cực sâu trong vòng 50 lần đường kính của micropore và tình hình cắt không thể được quan sát trực tiếp. Ngoài ra, nhiệt độ cắt không dễ truyền và loại bỏ chip rất khó khăn và bit khoan dễ bị phá vỡ do tắc nghẽn chip. Do đó, việc xử lý và chuẩn bị của nó là rất khó khăn.

Ngoài ra, trong các quá trình hỗ trợ plasma (như PECVD và khắc khô), đầu vòi hoa sen, như một phần của điện cực, cũng cần tạo ra một điện trường đồng đều thông qua nguồn điện RF để thúc đẩy phân phối plasma đồng đều, do đó cải thiện tính đồng nhất của việc khắc hoặc lắng đọng.

Do các khí được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn có thể là nhiệt độ cao, áp suất cao hoặc ăn mòn, thì vòi hoa sen thường được làm bằng vật liệu chống ăn mòn. Trong sản xuất thực tế, do các kịch bản sử dụng khác nhau và độ chính xác cần thiết thực tế, tấm phân phối khí có thể được chia thành hai loại sau theo thành phần vật liệu của nó:

(1) Tấm phân phối khí kim loại

Các vật liệu của các tấm phân phối khí kim loại bao gồm hợp kim nhôm, thép không gỉ và kim loại niken, trong đó vật liệu tấm phân phối khí kim loại được sử dụng rộng rãi nhất là hợp kim nhôm, bởi vì nó có độ dẫn nhiệt tốt và khả năng chống ăn mòn mạnh. Nó có sẵn rộng rãi và dễ dàng để xử lý.

(2) Tấm phân phối khí phi kim loại

Các vật liệu của các tấm phân phối khí phi kim loại bao gồm silicon tinh thể đơn, thủy tinh thạch anh và vật liệu gốm. Trong số đó, các vật liệu gốm thường được sử dụng là CVD-SIC, gốm alumina, gốm silicon nitride, v.v.

Semicorex cung cấp chất lượng caoCVD sic vòi hoa sentrong ngành công nghiệp bán dẫn. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com