Thuyền wafer silicon cacbua

Trong sản xuất chất bán dẫn, quá trình oxy hóa liên quan đến việc đặt tấm bán dẫn trong môi trường nhiệt độ cao, nơi oxy chảy qua bề mặt tấm bán dẫn để tạo thành lớp oxit. Điều này bảo vệ tấm wafer khỏi các tạp chất hóa học, ngăn dòng điện rò rỉ đi vào mạch điện, ngăn chặn sự khuếch tán trong quá trình cấy ion và ngăn tấm wafer trượt trong quá trình ăn mòn, tạo thành một lớp màng bảo vệ trên bề mặt tấm wafer. Thiết bị được sử dụng trong bước này là lò oxy hóa. Các thành phần chính trong buồng phản ứng bao gồm thuyền bán dẫn, đế, ống lót lò, ống lò bên trong và vách ngăn cách nhiệt. Do nhiệt độ hoạt động cao nên yêu cầu về hiệu suất của các bộ phận trong buồng phản ứng cũng cao.

cácthuyền waferđược sử dụng làm chất mang để vận chuyển và xử lý wafer. Nó phải có những ưu điểm như tích hợp cao, độ tin cậy cao, đặc tính chống tĩnh điện, chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn, chống biến dạng, ổn định tốt và tuổi thọ dài. Do nhiệt độ oxy hóa của tấm bán dẫn xấp xỉ từ 800oC đến 1300oC và yêu cầu về hàm lượng tạp chất kim loại trong môi trường là cực kỳ nghiêm ngặt, nên các bộ phận chính như thuyền bán dẫn không chỉ phải có các đặc tính nhiệt, cơ học và hóa học tuyệt vời mà còn phải có hàm lượng tạp chất kim loại cực thấp. Dựa trên chất nền, chúng có thể được chia thành thuyền wafer thạch anh, thuyền wafer gốm silicon cacbua, v.v. Tuy nhiên, với sự tiến bộ của các nút quy trình dưới 7nm và sự mở rộng của cửa sổ quy trình nhiệt độ cao, thuyền thạch anh truyền thống đang dần trở nên không đủ về độ ổn định nhiệt, kiểm soát hạt và quản lý tuổi thọ. Thuyền silicon cacbua (SiC) đang dần thay thế các giải pháp thạch anh truyền thống.

1. Sản xuất chất bán dẫn

Trong các quy trình sản xuất chip ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như quá trình oxy hóa, khuếch tán, lắng đọng hơi hóa học (CVD) và cấy ion, thuyền SiC được sử dụng để hỗ trợ các tấm silicon, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn vẫn phẳng ở nhiệt độ cao và ngăn chặn sự lệch mạng hoặc biến dạng do ứng suất nhiệt, do đó đảm bảo độ chính xác và hiệu suất của chip.

2. Công nghiệp quang điện

Gốm sứ cacbua silic có độ bền cơ học tuyệt vời, ổn định nhiệt, chịu nhiệt độ cao, chống oxy hóa, chống sốc nhiệt và chống ăn mòn hóa học và được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực phổ biến như luyện kim, máy móc, năng lượng mới và hóa chất vật liệu xây dựng. Hiệu suất của nó cũng đủ cho các quá trình nhiệt trong sản xuất quang điện, chẳng hạn như khuếch tán, LPCVD (lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp) và PECVD (lắng đọng hơi hóa học plasma) cho tế bào TOPcon. So với vật liệu thạch anh truyền thống, vật liệu gốm cacbua silic dùng để chế tạo giá đỡ thuyền, thuyền nhỏ và các sản phẩm dạng ống có độ bền cao hơn, ổn định nhiệt tốt hơn và không bị biến dạng dưới nhiệt độ cao. Tuổi thọ của chúng cũng cao hơn năm lần so với thạch anh, giảm đáng kể chi phí vận hành và tổn thất năng lượng do thời gian ngừng hoạt động để bảo trì. Điều này mang lại lợi thế rõ ràng về chi phí và nguyên liệu thô có sẵn rộng rãi.

3. Công nghiệp bán dẫn thế hệ thứ ba

Trong buồng phản ứng lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), thuyền cacbua silic được sử dụng để hỗ trợ chất nền sapphire, chịu được môi trường khí ăn mòn như amoniac (NH3), hỗ trợ sự tăng trưởng epiticular của vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba như gali nitrit (GaN) và cải thiện hiệu suất phát sáng và hiệu suất của chip LED. Trong quá trình phát triển tinh thể đơn cacbua silic, thuyền cacbua silic đóng vai trò hỗ trợ tinh thể hạt giống trong lò tăng trưởng đơn tinh thể cacbua silic, chịu được môi trường ăn mòn ở nhiệt độ cao của silicon nóng chảy, cung cấp hỗ trợ ổn định cho sự phát triển của các tinh thể đơn cacbua silic và thúc đẩy việc chuẩn bị các tinh thể đơn cacbua silic chất lượng cao.

Semicorex cung cấp gốm SiC chất lượng caothuyền wafer. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế để mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, tuổi thọ kéo dài và tính nhất quán của quy trình đặc biệt. Để biết các giải pháp tùy chỉnh hoặc thông tin kỹ thuật bổ sung, vui lòng liên hệ với nhóm kỹ thuật của chúng tôi.

Điện thoại: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com