MOCVD là thiết bị chủ chốt

Thiết bị MOCVD là thiết bị chính trong quy trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn, nhưng cũng là một phần lớn đầu tư thiết bị trong chuỗi công nghiệp bán dẫn (ba quy trình & thiết bị cốt lõi: in thạch bản, khắc, lắng đọng màng mỏng), đầu tư dây chuyền sản xuất đèn LED, MOCVD số tiền đầu tư có thể chiếm tới 50%. Trong thiết bị CVD, chất nền không thể được đặt trực tiếp trên kim loại hoặc chỉ đơn giản là đặt trên đế để lắng đọng epiticular, bởi vì nó liên quan đến ảnh hưởng của các yếu tố khác nhau như hướng dòng khí (ngang, dọc), nhiệt độ, áp suất, sự cố định , đổ chất gây ô nhiễm. Do đó, một đế được sử dụng và đế được đặt trên một đĩa và sau đó quá trình lắng đọng epiticular được thực hiện trên bề mặt đế bằng công nghệ CVD. Cơ sở này là than chì phủ SiCnhạy cảm(cũng có thể gọi làvận chuyển), và cấu trúc của nó được thể hiện trong hình bên dưới.