Thuyền SiC là gì và các quy trình sản xuất khác nhau của nó là gì?

1. Các quy trình sản xuất khác nhau củaThuyền SiC

(1) Phủ một lớpmàng SiCtrên bề mặt than chìthuyền pha lêthông qua CVD

Loại thuyền này có lõi than chì, được gia công nguyên khối. Tuy nhiên,than chì xốpvà có xu hướng tạo ra hạt, đòi hỏi phải áp dụng mộtLớp phủ màng SiCtrên bề mặt của nó. Do sự không khớp về Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) giữa thân than chì vàmàng SiC, lớp phủ có khả năng bong ra sau nhiều chu kỳ làm nóng và làm mát, dẫn đến nhiễm bẩn hạt. Những chiếc thuyền này rẻ nhất và có tuổi thọ khoảng một năm.

(2) Phủ một lớpmàng SiCtrên kết tinh lạiThuyền pha lê SiC

Kết tinh lạiThuyền SiCcũng xốp và có thể dễ dàng tạo ra các hạt. Do đó, các thành phần riêng lẻ của chất kết tinh lạiThuyền SiCphải được tạo hình trước, thiêu kết và sau đó được gia công riêng. Sau đó, các thành phần được liên kết với nhau ở nhiệt độ cao bằng keo Si. Sau khi được lắp ráp thành một chiếc thuyền duy nhất, mộtmàng SiCđược áp dụng thông qua CVD. Điều này kết tinh lạiThuyền SiCcó quy trình sản xuất dài nhất và tốn kém, nhưng bề mặtlớp phủ CVDcũng có thể bị hư hỏng với tuổi thọ khoảng ba năm.

(3)nguyên khốiThuyền pha lê SiC

Những cái nàythuyềnhoàn toàn được làm bằng vật liệu SiC. Bột SiC phải được đúc và nung kết thành hình chiếc thuyền nguyên khối. Cực kỳ tốn kém, chúng rất bền và ít có khả năng tạo ra các hạt. Tuy nhiên, những chiếc thuyền này chứa 10-15% silicon tự do, dễ bị xói mòn bởi flo và clo, dẫn đến ô nhiễm hạt.

2. Tại sao giặt khô không được khuyến khích?

Tóm lại, đối vớiThuyền SiCphủ mộtPhim SiC qua CVD, lớp phủ bề mặt dễ bị bong tróc trong quá trình giặt khô, gây nhiễm bẩn hạt. Đối với nguyên khốiThuyền SiCcó chứa một lượng nhỏ silicon tự do, việc tiếp xúc với các khí có chứa flo hoặc clo có thể dẫn đến xói mòn và tạo ra các hạt, do đó gây ô nhiễm.**