Tầm quan trọng của vật liệu than chì xốp đối với sự phát triển của tinh thể SiC

Thành phần lò tăng trưởng tinh thể SiC của Semicorex,thùng than chì xốp, sẽ mang lại ba lợi ích chính và có thể tăng cường hiệu quả khả năng cạnh tranh của doanh nghiệp trong nướcChất nền SiC:

• Giảm chi phí cho các thành phần tăng trưởng tinh thể SiC;
• Tăng độ dày của tinh thể SiC và giảm chi phí tổng thể của chất nền;
• Cải thiện năng suất tinh thể SiC và nâng cao khả năng cạnh tranh của doanh nghiệp.

Việc bổ sung các tấm than chì xốp vào lò tăng trưởng tinh thể SiC là một trong những điểm nóng trong ngành. Người ta đã chứng minh rằng bằng cách chèn mộtthan chì xốptấm phía trên bột nguồn SiC, đạt được sự truyền khối tốt trong khu vực tinh thể, điều này có thể cải thiện các vấn đề kỹ thuật khác nhau tồn tại trong các lò tăng trưởng tinh thể truyền thống.

(a) Lò tăng trưởng tinh thể truyền thống, (b) Lò tăng trưởng tinh thể với tấm than chì xốp

Nguồn: Đại học Dongui, Hàn Quốc

Các thí nghiệm đã chỉ ra rằng khi sử dụng lò tăng trưởng tinh thể truyền thống, chất nền SiC thường có nhiều dạng khác nhau.đa hình, chẳng hạn như 6H và 15R-SiC, trong khiChất nền SiCđược điều chế bằng cách sử dụng lò nung tinh thể dựa trên than chì xốp chỉ cóĐơn tinh thể 4H-SiC. Hơn nữa, mật độ ống vi mô (MPD) và mật độ hố ăn mòn (EPD) cũng giảm đáng kể. MPD của hai lò tăng trưởng tinh thể lần lượt là 6-7EA/cm2 và 1-2EA/cm2, có thểgiảm tới 6 lần.

Semicorex cũng đã đưa ra quy trình "chuyển khối lượng lớn một lần" mới dựa trêntấm than chì xốp. Than chì xốp có rất tốtkhả năng thanh lọc. Quy trình mới sử dụng trường nhiệt mới để truyền khối sơ cấp, giúp hiệu suất truyền khối được cải thiện và về cơ bản không đổi, từ đó giảm tác động của quá trình kết tinh lại (tránh truyền khối thứ cấp), giảm hiệu quả nguy cơ vi ống hoặc các khuyết tật tinh thể liên quan khác. Ngoài ra, than chì xốp cũng là một trong những công nghệ cốt lõi để giải quyết vấn đề về sự phát triển và độ dày của tinh thể SiC, vì nó có thể cân bằng các thành phần pha khí, cô lập các tạp chất vi lượng, điều chỉnh nhiệt độ cục bộ và giảm các hạt vật lý như bọc carbon. Với tiền đề là tinh thể có thể được sử dụng,độ dày của tinh thểcó thể được giảm bớt. có thể tăng đáng kể.

Đặc điểm kỹ thuật củaThan chì xốp Semicorex:

Độ xốp có thể đạt tới 65%;

Các lỗ chân lông được phân bố đều;

Độ ổn định hàng loạt cao;

Độ bền cao, có thể đạt tới hình trụ siêu mỏng 1mm.

Semicorex cung cấp chất lượng caothan chì xốpcác bộ phận. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com