Sản phẩm thạch anh trong ứng dụng bán dẫn

Trong ngành công nghiệp bán dẫn, thạch anh được sử dụng rộng rãi và các sản phẩm thạch anh có độ tinh khiết cao thậm chí còn là vật tư tiêu hao quan trọng hơn trong sản xuất tấm bán dẫn. Việc sản xuất nồi nấu kim loại đơn tinh thể silicon, thuyền pha lê, ống lõi lò khuếch tán và các thành phần thạch anh khác phải sử dụng các sản phẩm thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao. Các bộ phận thạch anh trong lĩnh vực bán dẫn, các ứng dụng thị trường mục tiêu chính cho quá trình khuếch tán và khắc wafer đúc, có thể được chia thành hai loại thiết bị vùng nhiệt độ cao và thiết bị vùng nhiệt độ thấp, sẽ sử dụng các thiết bị chính như sau:

1) Các thiết bị vùng nhiệt độ cao chủ yếu là quá trình oxy hóa khuếch tán và các khía cạnh khác của việc sử dụng ống lò, giá đỡ thuyền thủy tinh, v.v., cần phải ở trong môi trường nhiệt độ cao, tiếp xúc trực tiếp hoặc gián tiếp với tấm bán dẫn silicon; chủ yếu là thu mua vật liệu thủy tinh thạch anh nung chảy bằng điện, được sản xuất thông qua xử lý nhiệt;

2) Các thiết bị vùng nhiệt độ thấp chủ yếu là các liên kết khắc như vòng thạch anh, nhưng cũng bao gồm giỏ quy trình làm sạch, bể làm sạch, v.v., chủ yếu được sử dụng trong môi trường nhiệt độ thấp; chủ yếu mua thủy tinh thạch anh lọc khí, thông qua sản xuất chế biến lạnh

Trong số đó, các thiết bị vùng nhiệt độ cao tiêu thụ nhanh hơn, nhưng tương tự như máy nhiều chip (bộ mang để mang nhiều hơn một wafer), các thiết bị vùng nhiệt độ thấp tiêu thụ chậm hơn, nhưng nguyên khối (bộ mang để mang wafer) ; do đó, quy mô thị trường tổng thể của cả hai tương đối gần nhau.