Lớp phủ TaC bằng phương pháp CVD

Lớp phủ cacbua tantali là vật liệu kết cấu nhiệt độ cao có độ bền cao, chống ăn mòn và ổn định về mặt hóa học quan trọng với nhiệt độ nóng chảy lên tới 4273 ° C, một trong nhiều hợp chất có khả năng chịu nhiệt độ cao nhất. Nó có các đặc tính cơ học ở nhiệt độ cao tuyệt vời, khả năng chống cọ rửa luồng không khí tốc độ cao, khả năng chống mài mòn và khả năng tương thích hóa học và cơ học tốt với than chì và vật liệu tổng hợp cacbon/cacbon. Do đó, trong quy trình epiticular của đèn LED GaN và các thiết bị điện SiC như MOCVD, lớp phủ TaC có khả năng kháng axit và kiềm tuyệt vời đối với H2, HCl, NH3, có thể bảo vệ hoàn toàn vật liệu nền than chì và làm sạch môi trường phát triển.

Lớp phủ TaC vẫn ổn định ở nhiệt độ trên 2000 °C, trong khi lớp phủ SiC bắt đầu phân hủy ở 1200-1400 °C, điều này cũng sẽ cải thiện đáng kể tính toàn vẹn của chất nền than chì. Lớp phủ cacbua tantali hiện được điều chế trên nền than chì chủ yếu bằng CVD và năng lực sản xuất lớp phủ TaC sẽ được nâng cao hơn nữa để đáp ứng nhu cầu về thiết bị điện SiC và thiết bị epiticular GaNLED.

Hệ thống phản ứng hóa học được sử dụng để lắng đọng lớp phủ cacbua tantalum trên vật liệu carbon bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) là TaCl5, C3H6, H2 và Ar, trong đó Ar được sử dụng làm chất pha loãng và mang khí.

Lớp phủ cacbua tantali đóng vai trò then chốt trong quá trình epiticular của đèn LED GaN và các thiết bị nguồn SiC sử dụng MOCVD. Các vật liệu tiên tiến bảo vệ các bộ phận quan trọng, đảm bảo tuổi thọ và hiệu suất của chúng trong các điều kiện khắc nghiệt liên quan đến sản xuất chất bán dẫn ở nhiệt độ cao.

Khi nhu cầu về các thiết bị nguồn SiC và đèn LED GaN tiếp tục tăng cao, năng lực sản xuất lớp phủ cacbua tantalum sẽ mở rộng. Các nhà sản xuất sẵn sàng đáp ứng yêu cầu ngày càng tăng của các ngành công nghiệp này, tạo điều kiện cho sự phát triển của công nghệ nhiệt độ cao.

Tóm lại là,lớp phủ cacbua tantalumđại diện cho một bước nhảy vọt về công nghệ đáng kinh ngạc trong việc đảm bảo độ bền và độ tin cậy của vật liệu trong môi trường nhiệt độ cao. Khi chúng tiếp tục cách mạng hóa lĩnh vực bán dẫn và điện tử công suất, những lớp phủ này nhấn mạnh vị thế của chúng như một yếu tố quan trọng của những tiến bộ công nghệ cao hiện đại.