Thiết bị LPE

Trong lĩnh vực chế tạo thiết bị bán dẫn, việc kiểm soát chính xác sự phát triển của tinh thể là điều tối quan trọng để đạt được các thiết bị chất lượng cao và đáng tin cậy. Một kỹ thuật đóng vai trò then chốt trong lĩnh vực này là Epitaxy pha lỏng (LPE).

Nguyên tắc cơ bản của LPE:

Nói chung, epitaxy đề cập đến sự phát triển của một lớp tinh thể trên chất nền có cấu trúc mạng tương tự. LPE, một kỹ thuật epiticular đáng chú ý, liên quan đến việc sử dụng dung dịch siêu bão hòa của vật liệu được trồng. Chất nền, thường là đơn tinh thể, được tiếp xúc với dung dịch này trong một khoảng thời gian cụ thể. Khi hằng số mạng của chất nền và vật liệu được trồng phù hợp chặt chẽ với nhau, vật liệu sẽ kết tủa trên chất nền trong khi vẫn duy trì chất lượng tinh thể. Quá trình này dẫn đến sự hình thành lớp epitaxy phù hợp với mạng tinh thể.

Thiết bị LPE:

Một số loại thiết bị tăng trưởng đã được phát triển cho LPE, mỗi loại mang lại những ưu điểm riêng cho các ứng dụng cụ thể:

Lò nung:

Chất nền được đặt ở một đầu của thuyền than chì bên trong ống thạch anh.

Dung dịch nằm ở đầu kia của thuyền than chì.

Một cặp nhiệt điện nối với thuyền sẽ điều khiển nhiệt độ lò.

Dòng hydro chảy qua hệ thống ngăn chặn quá trình oxy hóa.

Lò được nghiêng từ từ để dung dịch tiếp xúc với chất nền.

Sau khi đạt đến nhiệt độ mong muốn và phát triển lớp epiticular, lò được nghiêng trở lại vị trí ban đầu.

Lò dọc:

Trong cấu hình này, chất nền được nhúng vào dung dịch.

Phương pháp này cung cấp một cách tiếp cận khác cho lò nung, đạt được sự tiếp xúc cần thiết giữa chất nền và dung dịch.

Lò nung đa năng:

Nhiều dung dịch được giữ trong các thùng liên tiếp trong thiết bị này.

Chất nền có thể được tiếp xúc với các dung dịch khác nhau, cho phép một số lớp epitaxy phát triển tuần tự.

Loại lò này được sử dụng rộng rãi để chế tạo các cấu trúc phức tạp như cấu trúc cần thiết cho các thiết bị laser.

Ứng dụng của LPE:

Kể từ lần trình diễn đầu tiên vào năm 1963, LPE đã được sử dụng thành công trong việc chế tạo các thiết bị bán dẫn phức hợp III-V khác nhau. Chúng bao gồm laser tiêm, điốt phát sáng, bộ tách sóng quang, pin mặt trời, bóng bán dẫn lưỡng cực và bóng bán dẫn hiệu ứng trường. Tính linh hoạt và khả năng tạo ra các lớp epiticular chất lượng cao, phù hợp với mạng tinh thể khiến LPE trở thành nền tảng trong việc phát triển các công nghệ bán dẫn tiên tiến.

Epitaxy pha lỏng là minh chứng cho sự khéo léo và độ chính xác cần có trong chế tạo thiết bị bán dẫn. Bằng cách hiểu các nguyên tắc tăng trưởng tinh thể và khai thác khả năng của bộ máy LPE, các nhà nghiên cứu và kỹ sư đã có thể tạo ra các thiết bị bán dẫn phức tạp với các ứng dụng từ viễn thông đến năng lượng tái tạo. Khi công nghệ tiếp tục phát triển, LPE vẫn là một công cụ quan trọng trong kho kỹ thuật định hình tương lai của công nghệ bán dẫn.

Semicorex cung cấp chất lượng caoCác bộ phận CVD SiC cho LPEvới dịch vụ tùy chỉnh. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com