Lò khuếch tán là gì?

Lò khuếch tán là một thiết bị chuyên dụng dùng để đưa tạp chất vào các tấm bán dẫn một cách có kiểm soát. Những tạp chất này, được gọi là chất pha tạp, làm thay đổi tính chất điện của chất bán dẫn, cho phép tạo ra nhiều loại linh kiện điện tử khác nhau. Quá trình khuếch tán có kiểm soát này rất quan trọng đối với việc sản xuất bóng bán dẫn, điốt và mạch tích hợp.

Lò khuếch tán bao gồm một số thành phần chính, bao gồm ống xử lý, bộ phận làm nóng, cơ chế nạp khí và hệ thống điều khiển. Ống xử lý hoạt động như một buồng nơi đặt tấm bán dẫn. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao và khí ăn mòn, khiến nó trở thành vật liệu lý tưởng cho ứng dụng này.

Các bộ phận làm nóng, cung cấp lượng nhiệt cần thiết để nâng nhiệt độ lò lên mức mong muốn. Nhiệt độ trong lò khuếch tán thường cao tới 1200°C. Để đảm bảo sưởi ấm đồng đều, các bộ phận làm nóng thường được bố trí theo hình xoắn ốc.

Một cơ chế dẫn khí vào được sử dụng để đưa khí tạp chất vào lò. Các chất tạp chất phổ biến bao gồm boron, phốt pho và asen, tùy thuộc vào tính chất điện mong muốn của sản phẩm bán dẫn cuối cùng. Một hệ thống điều khiển điều chỉnh dòng khí tạp chất, duy trì sự kiểm soát chính xác trong quá trình khuếch tán.

Lò khuếch tán được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng được sử dụng trong quá trình pha tạp tạo ra các mối nối pn trong bóng bán dẫn và điốt. Lò khuếch tán cũng đóng một vai trò quan trọng trong việc chế tạo các mạch tích hợp, trong đó nhiều lớp chất bán dẫn khác nhau được xếp chồng lên nhau và kết nối với nhau.

Hơn nữa, lò khuếch tán rất cần thiết cho việc chế tạo các thiết bị bán dẫn tiên tiến như MOSFET công suất (Transitor hiệu ứng trường bán dẫn oxit kim loại) và Transitor lưỡng cực có cổng cách điện (IGBT). Những thiết bị này rất quan trọng trong công nghệ điện tử công suất và năng lượng tái tạo nên lò khuếch tán là một phần không thể thiếu trong quá trình sản xuất chúng.

Lò khuếch tán là công cụ quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, cho phép đưa chất tạp chất vào các tấm bán dẫn có kiểm soát. Những lò này là một phần không thể thiếu trong quá trình sản xuất các thiết bị bán dẫn khác nhau như bóng bán dẫn, điốt và mạch tích hợp. Khi công nghệ tiến bộ, khả năng của lò khuếch tán tiếp tục tăng lên, cho phép thực hiện các quy trình sản xuất chính xác và đáng tin cậy hơn. Ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc rất nhiều vào các lò này để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng về thiết bị điện tử tiên tiến.

Semicorex chế tạo các bộ phận SiC tùy chỉnh cho lò khuếch tán. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com