Semicorex Ceramic ứng dụng trong gia công bán dẫn

Với sự tiến bộ của công nghệ, các sản phẩm thông minh như điện thoại di động, máy tính, xe điện và robot đã trở nên tích hợp vào cuộc sống của con người. Những sản phẩm này chứa một số lượng lớn chip bán dẫn và việc chế tạo chip đòi hỏi phải có thiết bị bán dẫn, chẳng hạn như máy khắc, máy in thạch bản và máy cấy ion. Mở một thiết bị bán dẫn ra sẽ thấy hầu hết các thành phần của nó đều là các bộ phận bằng gốm. Các bộ phận bằng gốm sở hữu các đặc tính tuyệt vời như khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, độ chính xác cao và độ bền cao, khiến chúng rất phù hợp để sử dụng trong thiết bị bán dẫn. Hầu hết các bộ phận bằng gốm, là thành phần chính trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn, cho phép điều khiển với độ chính xác cao cũng như làm nóng và làm mát nhanh chóng nhiệt độ bề mặt tấm bán dẫn.

Các bộ phận gốm bán dẫn thuộc loại gốm sứ tiên tiến và các vật liệu gốm liên quan thường bao gồm alumina, cacbua silic, nhôm nitrit, silicon nitrit và yttri oxit. Các phương pháp tạo hình sản phẩm gốm sứ thường bao gồm ép khô, đúc băng, ép phun, ép đẳng nhiệt nóng, ép đẳng tĩnh lạnh, đúc trượt, ép đùn, đúc khuôn nóng, đúc gel và đúc hóa rắn trực tiếp.

1. Máy ép khô

Ép khô là một quá trình phổ biến để sản xuất các linh kiện bán dẫn. Quá trình này chủ yếu liên quan đến việc đổ bột dạng hạt có kích thước hạt phù hợp vào khoang khuôn kim loại, tạo áp lực bằng đầu áp suất. Đầu áp suất di chuyển trong khoang khuôn, truyền áp suất đến các hạt bột và nén chúng lại, cuối cùng tạo thành phôi gốm có hình dạng và độ bền cụ thể.

2. Đúc

Đúc là công nghệ tạo hình ướt có khả năng tạo ra các phôi gốm có độ dày từ hàng chục micromet đến milimet trong một quy trình duy nhất. Bùn gốm có độ nhớt và độ phân tán tốt chảy từ rãnh vữa của máy đúc lên bề mặt. Bùn lan rộng và dưới sức căng bề mặt, một khoảng trống có bề mặt phía trên mịn được hình thành. Mẫu trắng cùng với chất nền được đưa đến buồng sấy khô. Sau khi dung môi bay hơi, một chất kết dính hữu cơ tạo thành mạng lưới giữa các hạt gốm, tạo ra một khoảng trống có độ bền và độ dẻo nhất định. Phôi khô được bóc ra khỏi lớp nền và cuộn lại để sử dụng sau. Quá trình xử lý tiếp theo, chẳng hạn như cắt, dập và xỏ lỗ, sau đó là nung, hoàn tất quy trình sản xuất sản phẩm.

3. Ép phun

Ép phun là một công nghệ mới để sản xuất các bộ phận gốm sứ. Quy trình sản xuất của nó chủ yếu bao gồm bốn giai đoạn: chuẩn bị vật liệu phun, ép phun, gỡ rối và thiêu kết. Nó thường được sử dụng để sản xuất các bộ phận gốm nhỏ có hình dạng phức tạp và các yêu cầu đặc biệt.

4. Ép đẳng tĩnh

Ép đẳng tĩnh bao gồm ép đẳng tĩnh nóng và ép đẳng tĩnh lạnh. Ép đẳng tĩnh có thể truyền áp suất từ ​​mọi hướng, do đó đảm bảo độ đặc của vật liệu tấm.

1) Quy trình ép đẳng tĩnh nóng

Phương pháp này tăng cường sự khuếch tán nguyên tử dưới nhiệt độ và áp suất cao, làm cho các lỗ trong gốm di chuyển đến các ranh giới hạt hoặc bề mặt phôi, từ đó làm giảm hoặc loại bỏ độ xốp. Ép đẳng nhiệt nóng sử dụng các cuộn dây dự ứng lực có thành mỏng, cho phép làm mát đồng đều và nhanh chóng, nâng cao đáng kể hiệu quả sản xuất so với làm mát tự nhiên.

2) Quy trình ép đẳng tĩnh lạnh

Phương pháp này áp dụng 100~600 MPa cho bột gốm hoặc kim loại ở nhiệt độ phòng hoặc nhiệt độ cao hơn một chút (<93oC) để thu được "thân xanh", sau đó được thiêu kết đến cường độ cuối cùng.

5. Đúc trượt

Đúc trượt là phương pháp đúc thường được sử dụng trong sản xuất gốm sứ quy mô lớn. Nó liên quan đến việc bơm bùn có hàm lượng chất rắn cao và tính lưu động tốt vào khuôn thạch cao xốp. Do lực hút mao dẫn của khuôn xốp, nước được hút ra khỏi bùn bởi thành trong của khuôn, tạo thành một khối xanh đông đặc dọc theo thành khuôn. Khi thân xanh đã đạt đến sức mạnh nhất định, nó có thể được bán ra.

6. Đúc đùn

Quá trình ép đùn bao gồm việc trộn bột gốm, đất sét hoặc chất kết dính hữu cơ và nước, nhào nhiều lần, khử khí chân không và lão hóa để tạo cho thân xanh ép đùn có độ dẻo và độ đồng đều tốt. Sau đó, dưới tác động của vít đùn hoặc pít tông, nó được ép đùn qua khuôn ở vòi phun của máy đùn để thu được hình dạng sản phẩm mong muốn.

7. Đúc ép nóng

Đúc ép nóng chủ yếu sử dụng đặc tính tan chảy của sáp parafin khi đun nóng và đông đặc lại khi làm mát. Bột gốm và sáp parafin nóng được trộn đều để tạo thành bùn có thể chảy được. Dưới áp suất nhất định, bùn được bơm vào khuôn kim loại để tạo thành thân xanh. Sau khi làm nguội và đông đặc, phần thân màu xanh lá cây được tháo khuôn và loại bỏ. Thân xanh sau đó được cắt tỉa, tẩy sáp ở nhiệt độ cao và cuối cùng được thiêu kết để tạo ra thành phẩm.

8. Đúc gel

Đúc gel liên quan đến việc phân tán bột gốm trong dung dịch chứa chất hữu cơ để chuẩn bị huyền phù có hàm lượng chất rắn cao. Hệ thống treo này sau đó được bơm vào khuôn có hình dạng cụ thể. Trong điều kiện nhiệt độ và xúc tác cụ thể, các monome hữu cơ trùng hợp, tạo thành gel, đông cứng huyền phù tại chỗ và khô đi, tạo thành vật thể màu xanh lá cây có độ bền cao.

9. Đúc hóa rắn trực tiếp

Đúc hóa rắn trực tiếp là một phương pháp mới để hình thành các cấu trúc keo gốm có kích thước bằng lưới. Phương pháp này kết hợp công nghệ gốm truyền thống với lý thuyết hóa học, sử dụng chất xúc tác hoặc chất xúc tác để tạo liên kết ngang các monome hữu cơ được thêm vào huyền phù, tạo thành cấu trúc mạng dẫn đến quá trình hóa rắn tại chỗ.

Semicorex cung cấp nhiều loạilinh kiện gốm sứ. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com