Notch trên tấm wafer là gì?

Rãnh wafer là một rãnh hình chữ V hoặc hình chữ U trên cạnh của tấm wafer.tấm bán dẫn. Không phải là một khiếm khuyết phát sinh trong quá trình sản xuất, nó là điểm đánh dấu cấu trúc quan trọng được thiết kế có chủ ý, có chức năng cốt lõi nằm ở việc cho phép xác định vị trí và hướng chính xác của tấm bán dẫn. Tấm wafer phẳng được sử dụng làm dấu định hướng trong giai đoạn đầu phát triển công nghệ wafer. Tuy nhiên, khi kích thước wafer tăng dần, thiết kế cạnh phẳng chiếm diện tích hiệu quả hơn, do đó dần được thay thế bằng notch nhỏ gọn hơn.

Chức năng của rãnh wafer là gì? 

Sản xuất chip là một quy trình có quy mô nanomet, trong đó bất kỳ sai lệch hướng nào cũng có thể dẫn đến hỏng mạch. Đóng vai trò là điểm đánh dấu định hướng, rãnh khía trên tấm bán dẫn cho phép máy in thạch bản và khắc nhanh chóng xác định hướng tinh thể của tấm bán dẫn, đảm bảo căn chỉnh chính xác từng bước quy trình. Mỗi con chip được định vị trên wafer theo một rãnh khía, tương tự như kinh tuyến gốc. Thiết kế khéo léo này cho phép các mẫu mạch được in thạch bản và bố trí với phần notch làm mốc tham chiếu. Ngoài ra, cánh tay robot dựa vào rãnh khía của tấm bán dẫn để phân biệt mặt trước/sau của tấm bán dẫn và hướng của dây chuyền sản xuất được tự động hóa cao, giúp ngăn ngừa đáng kể hư hỏng của tấm bán dẫn hoặc lỗi xử lý do vận hành sai. Nếu rãnh khía bị nhiễm bẩn hoặc hư hỏng thì toàn bộ tấm bán dẫn có thể bị loại vì không phù hợp.

Phần rãnh wafer cũng đóng một vai trò quan trọng trong việc cải thiện năng suất sản xuất chip. Vì các cạnh của tấm bán dẫn dễ bị khuyết tật như đường trượt và vết nứt trong quá trình sản xuất nên việc định vị chính xác thông qua các rãnh cho phép thiết bị tránh chính xác các khu vực bị lỗi này, do đó giảm lãng phí. Dây chuyền sản xuất hiện đại cũng áp dụng các công nghệ như xoay hệ thống treo khí nén cho các hoạt động tìm kiếm cạnh. Đóng vai trò là điểm đánh dấu để phát hiện không tiếp xúc, rãnh wafer không chỉ tránh được ô nhiễm do tiếp xúc cơ học mà còn cải thiện hiệu quả và độ chính xác nhận dạng.

Semicorex cung cấpwafer chất lượng cao. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com