Máy sưởi than chì được bọc dẫn điện

CácMáy sưởi than chì được phủ dẫn dẫn điệnlà một sản phẩm mới được thiết kế để xử lý chất bán dẫn nhiệt độ cao và các hệ thống nhiệt chân không khác. Nó sử dụng độ ổn định nhiệt tốt của than chì có độ tinh khiết cao và các đặc tính bề mặt tuyệt vời của lớp phủ silicon cacbua (SIC). Máy sưởi than chì được phủ dẫn được phân biệt thêm bởi lớp SIC pha tạp nitơ của nó mang lại độ dẫn bề mặt được cải thiện rất nhiều, làm cho nó đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng cần kiểm soát và thậm chí làm nóng với hiệu suất điện tuyệt vời.

Máy sưởi được xây dựng với chất nền than chì cường độ cao, hoạt động như là dây dẫn cấu trúc và nhiệt độ lõi. Chân than đã được chọn, đặc biệt với mức độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng phục hồi cho sốc nhiệt. Những đặc điểm này làm cho than chì trở thành một vật liệu cơ sở phù hợp trong các ứng dụng quá trình nhiệt độ cao, nơi có thể có chu kỳ làm nóng và làm mát nhanh chóng. Tuy nhiên, chính than chì nguyên sơ có phản ứng hóa học trong một số khí quyển nhất định và có thể bị tổn thương bề mặt hoặc suy thoái, phát xạ hạt hoặc chuyển tiếp trong quá trình sử dụng mở rộng, đặc biệt là trong môi trường phòng sạch của chất bán dẫn.

Để khắc phục những hạn chế này, phần than chì được phủ một lớp sic dày, tinh khiết cao. Lớp phủ SIC phục vụ nhiều chức năng: nó cung cấp một mức độ bảo vệ chống oxy hóa và ăn mòn hóa học, nó cung cấp một bề mặt chống mài mòn rất cứng và nó đảm bảo khả năng tương thích với các tiêu chuẩn phòng chân không và phòng sạch. SIC nổi tiếng về độ cứng cực độ, độ dẫn nhiệt cao và trơ hóa hóa học; Vì lý do này, nó là một vật liệu phủ tuyệt vời cho các thành phần nhiệt hiệu suất cao.

Sự đổi mới độc đáo của sản phẩm này là doping nitơ của lớp phủ sic. Trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), các nguyên tử nitơ được nhúng vào mạng SIC, tạo ra các chất mang tự do, có thể làm giảm đáng kể điện trở suất bề mặt của nó, và do đó tạo ra một lớp bề mặt dẫn và cho phép dòng điện truyền trực tiếp, thay vì sử dụng điểm truy cập, thông qua lớp phủ SIC, do đó cho phép toàn bộ thành phần điện trở.

Cổ điểnLớp phủ siclà cách điện, thực sự giới hạn chúng trong phạm vi của các ứng dụng điện hoạt động. Ngược lại, lớp SIC pha tạp nitơ trên lò sưởi có điện trở rất thấp trong khi vẫn duy trì tất cả các lợi ích cơ học và hóa học của SIC cổ điển. Lớp dẫn điện cung cấp tính đồng nhất hiện tại rất tốt và giảm thiểu mất điện trong khi cải thiện phân phối nhiệt trên bề mặt lò sưởi. Nó đặc biệt lý tưởng cho các ứng dụng sưởi ấm chính xác trong các điều kiện thường liên quan đến các lò phản ứng epiticular, lò khuếch tán và thiết bị xử lý nhiệt nhanh (RTP).

Hình học lò sưởi, điển hình là xoắn ốc hoặc serpentine như trong hình ảnh, được thiết kế và tối ưu hóa với mục đích sản xuất năng lượng đầu ra nhiệt đồng đều và tải điện đồng đều. Với thiết kế tích hợp của lớp phủ SIC than chì và dẫn điện, các tiếp điểm điện có thể được thực hiện trực tiếp trên bề mặt được phủ giúp loại bỏ sự cần thiết của bất kỳ điện cực hoặc kết nối kim loại bổ sung nào. Điều này làm giảm rủi ro ô nhiễm và dẫn đến một sự lắp ráp đơn giản hơn. Do đó, hiệu quả tổng thể được cải thiện.

Lợi ích chính của dẫn điệnMáy sưởi than chì được phủ SICbao gồm:

Độ dẫn điện tuyệt vời do pha tạp nitơ, cho phép dòng điện trực tiếp và gia nhiệt điện trở hiệu quả.

Tính đồng nhất nhiệt vượt trội với kiểm soát nhiệt độ chính xác trên toàn bộ diện tích bề mặt.

Kháng hóa chất cao, đặc biệt là trong môi trường ăn mòn như hydro, amoniac hoặc khí quyển giàu halogen.

Tạo hạt tối thiểu, đáp ứng các yêu cầu tinh khiết nghiêm ngặt của chế tạo chất bán dẫn.

Tuổi thọ dịch vụ mở rộng, do độ bền cơ học và điện trở sốc nhiệt của cả lõi than chì và lớp phủ SIC.

Các ứng dụng cho lò sưởi này mở rộng trên một số ngành công nghiệp công nghệ tiên tiến. Máy sưởi sẽ tìm thấy một vị trí trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như lắng đọng hơi hóa học (CVD), epitaxy chùm phân tử (MBE) và ủ wafer, trong đó kiểm soát nhiệt độ chính xác và độ tinh khiết của vật liệu là rất quan trọng. Máy sưởi than chì được phủ SIC cũng có thể được sử dụng trong sản xuất quang điện, thiêu kết gốm nâng cao và trong các quá trình nhiệt khác, nơi cần có hiệu suất, độ bền và máy sưởi mạnh hơn.

Tóm lại, lò sưởi than chì được phủ SIC dẫn điện là một tiến bộ ấn tượng trong sự phát triển của các thành phần nhiệt. Bằng cách sử dụng lớp phủ SIC pha tạp nitơ, chúng tôi đã phát triển một sản phẩm nhiệt hiệu quả, kết hợp thành công sự ổn định hóa học của lớp phủ SIC với độ dẫn điện. Do đó, tạo ra một quy trình nhiệt hiệu quả hơn, sạch hơn và đáng tin cậy hơn cho các ứng dụng công nghiệp đòi hỏi khắt khe nhất. Các ngành công nghiệp bán dẫn và vật liệu phải đối mặt với sự thay đổi và vật liệu lai thuộc loại này sẽ ngày càng trở nên quan trọng trong việc cho phép các công nghệ tiên tiến hơn trong tương lai để sản xuất.

Semicorex cung cấp chất lượng caoMáy sưởi than chì với lớp phủcác sản phẩm. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com