Giới thiệu vật liệu alumina

Alumina gốmCác thành phần có các đặc tính tuyệt vời như độ cứng cao, cường độ cơ học cao, điện trở siêu hao mòn, điện trở nhiệt độ cao, điện trở suất cao và hiệu suất cách điện tốt. Chúng có thể đáp ứng các yêu cầu hiệu suất phức tạp của sản xuất chất bán dẫn trong các môi trường đặc biệt như chân không và nhiệt độ cao. Họ đóng một vai trò không thể thay thế và quan trọng trong các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn. Các ứng dụng của họ bao gồm hầu hết tất cả các thiết bị sản xuất chất bán dẫn và là thành phần chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Với sự phát triển liên tục của ngành công nghiệp bán dẫn, tầm quan trọng của các thành phần gốm alumina trong chuỗi công nghiệp sẽ trở nên nổi bật hơn.

Khi kích thước tính năng chip giảm, thiết bị bán dẫn có các yêu cầu nghiêm ngặt hơn đối với các thành phần và mật độ, tính đồng nhất, khả năng chống ăn mòn của nó, v.v. được yêu cầu cao hơn. Trong những năm gần đây, các học giả trong và ngoài nước đã phát triển một loạt các quy trình mới để cải thiện các điều kiện thiêu kết của các vật liệu gốm alumina, để chúng có thể đạt được sự tăng cường nhanh chóng của các vật liệu ở nhiệt độ thiêu kết thấp hơn, như tự thiêu kết nhiệt độ cao, thiêu kết, thiêu kết. Trong số đó, thiêu kết lạnh là thêm một dung môi thoáng qua vào bột và áp dụng áp suất lớn (350 ~ 500MPa) để tăng cường sự sắp xếp lại và khuếch tán giữa các hạt, do đó có thể thiêu kết và dày đặc ở nhiệt độ thấp hơn (120 ~ 300) và thời gian ngắn hơn.

Hiện tại, quy trình sản xuất mạch tích hợp toàn cầu đã phát triển thành một quy trình nâng cao hơn ở cấp độ 3 nanomet. Thiết bị bán dẫn và các thành phần chính xác của thiết bị bán dẫn phải được phát triển và nâng cấp liên tục, và các cải tiến quy trình phải được thực hiện để đáp ứng nhu cầu sản xuất hạ nguồn. Khi thiết bị bán dẫn được cập nhật, các yêu cầu cụ thể của thiết bị mới cho các thành phần sẽ thay đổi đồng bộ. Với sự phát triển của công nghệ bán dẫn, các yêu cầu về hiệu suất đối với các thành phần gốm alumina ngày càng cao hơn, bao gồm điện trở hao mòn cao hơn, điện trở nhiệt độ cao và cách nhiệt tốt hơn. Xu hướng công nghiệp có xu hướng phát triển độ tinh khiết cao hơn, vật liệu bột alumina cấu trúc mịn hơn và áp dụng các công nghệ chuẩn bị tiên tiến.

Gốm sứ aluminaCó yêu cầu độ tinh khiết rất cao khi được sử dụng trong trường bán dẫn, thường lớn hơn 99,5%. Trong trường bán dẫn, các bộ phận gốm alumina là một trong những phần chính của thiết bị bán dẫn. Hầu hết chúng được sử dụng trong các buồng gần hơn với wafer. Trong các thiết bị bán dẫn, chúng được phân loại bằng cách sử dụng và chủ yếu được chia thành các xi lanh hình khuyên, hướng dẫn luồng không khí, cố định chịu tải, các miếng đệm được cắt bằng tay, mô-đun, v.v.

Trong quá trình khắc, để giảm sự ô nhiễm của wafer trong quá trình khắc huyết tương, lớp phủ alumina tinh khiết cao hoặc gốm alumina với khả năng chống ăn mòn mạnh được chọn làm vật liệu bảo vệ cho buồng khắc và lớp lót buồng.

Trong quá trình làm sạch huyết tương, các khí ăn mòn có chứa các yếu tố halogen có khả năng phản ứng cao như flo và clo được sử dụng. Vòi phun khí thường được làm bằng gốm alumina, được yêu cầu phải có điện trở huyết tương cao, cường độ điện môi và khả năng chống ăn mòn mạnh đối với quá trình xử lý khí và sản phẩm phụ. Đồng thời, cấu trúc lỗ chính xác bên trong được sử dụng để kiểm soát chính xác dòng khí.

Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, wafer có thể trải qua quá trình xử lý nhiệt độ cao, như khắc, cấy ion, v.v. như một chất mang để truyền wafer, chất mang wafer alumina có thể đảm bảo sự ổn định và an toàn của wafer trong quá trình truyền. Cấu tạo wafer alumina có độ dẫn nhiệt tốt và có thể phân tán hiệu quả và xuất khẩu nhiệt do wafer tạo ra, do đó bảo vệ wafer khỏi thiệt hại nhiệt.

Trong việc xử lý các tấm wafer, một cánh tay robot gốm làm bằng gốm alumina sẽ được sử dụng. Nó sẽ được cài đặt trên robot xử lý wafer, tương đương với tay của robot. Nó chịu trách nhiệm mang wafer đến vị trí được chỉ định và bề mặt của nó tiếp xúc trực tiếp với wafer. Bởi vì các tấm wafer cực kỳ dễ bị ô nhiễm bởi các hạt khác, chúng thường được thực hiện trong môi trường chân không. Trong môi trường này, vũ khí robot của hầu hết các vật liệu thường gặp khó khăn trong việc hoàn thành công việc. Các vật liệu được sử dụng để làm cho cánh tay robot cần phải chống lại nhiệt độ cao, chống mài mòn và có độ cứng cao. Do các yêu cầu của điều kiện làm việc, chúng thường được làm bằng vật liệu gốm alumina cực kỳ tinh khiết, và độ chính xác và độ nhám bề mặt của các bộ phận gốm cần được đảm bảo.

Semicorex cung cấp chất lượng caoCác bộ phận gốm aluminatrong chất bán dẫn, bao gồm lớp phủ sic và lớp phủ TAC. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com