Máy sưởi gốm

Trong quy trình đầu tiên (FEOL) của sản xuất chất bán dẫn,waferCần phải chịu các phương pháp điều trị quá trình khác nhau, đặc biệt là wafer cần phải được làm nóng đến một nhiệt độ nhất định và có những yêu cầu nghiêm ngặt, bởi vì tính đồng nhất của nhiệt độ có tác động rất quan trọng đến năng suất sản phẩm; Đồng thời, thiết bị bán dẫn cần phải hoạt động với sự hiện diện của chân không, huyết tương và khí hóa học, đòi hỏi phải sử dụng máy sưởi gốm.Máy sưởi gốmlà các thành phần quan trọng của thiết bị lắng đọng màng mỏng bán dẫn. Chúng được sử dụng trong buồng xử lý và tiếp xúc trực tiếp với wafer để mang và cho phép wafer để có được nhiệt độ quá trình ổn định và đồng đều và phản ứng với độ chính xác cao trên bề mặt của wafer để tạo ra các màng mỏng.

Bởi vì các thiết bị lắng đọng màng mỏng được sử dụng bởi máy sưởi gốm liên quan đến nhiệt độ cao, các vật liệu gốm chủ yếu dựa trên nhôm nitride (ALN) thường được sử dụng. Bởi vì nhôm nitride có cách nhiệt điện và độ dẫn nhiệt tuyệt vời; Ngoài ra, hệ số giãn nở nhiệt của nó gần với silicon và nó có điện trở plasma tuyệt vời, nó rất phù hợp để sử dụng làm thành phần thiết bị bán dẫn.

Chuck tĩnh điện (ESC) chủ yếu được sử dụng trong thiết bị khắc, chủ yếu là nhôm oxit (AL2O3). Vì bản thân mâm cặp tĩnh điện cũng chứa một lò sưởi, ví dụ như việc khắc khô làm ví dụ, nên cần phải kiểm soát wafer ở nhiệt độ cụ thể trong phạm vi -70 ~ 100 ℃ để duy trì một đặc tính khắc nhất định. Do đó, wafer cần được làm nóng hoặc tiêu tan bởi mâm cặp tĩnh điện để kiểm soát chính xác nhiệt độ wafer. Ngoài ra, để đảm bảo tính đồng nhất của bề mặt wafer, mâm cặp tĩnh điện thường cần tăng vùng kiểm soát nhiệt độ để kiểm soát nhiệt độ của từng vùng kiểm soát nhiệt độ để cải thiện năng suất quá trình. Tất nhiên, với sự phát triển của công nghệ, sự khác biệt giữa máy sưởi gốm truyền thống và mâm cặp tĩnh điện đã bắt đầu bị mờ. Một số máy sưởi gốm có các chức năng kép của hệ thống sưởi nhiệt độ cao và hấp phụ tĩnh điện.

Máy sưởi gốm bao gồm một đế gốm mang wafer và thân hỗ trợ hình trụ hỗ trợ nó ở mặt sau. Bên trong hoặc trên bề mặt của đế gốm, ngoài phần tử điện trở (lớp sưởi ấm) để sưởi ấm, còn có điện cực tần số vô tuyến (lớp tần số vô tuyến). Để đạt được sự sưởi ấm và làm mát nhanh chóng, độ dày của đế gốm phải mỏng, nhưng quá mỏng cũng sẽ làm giảm độ cứng. Cơ thể hỗ trợ của lò sưởi thường được làm bằng vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt tương tự như cơ sở, do đó, cơ thể hỗ trợ thường được làm bằng nhôm nitride. Máy sưởi áp dụng cấu trúc duy nhất của khớp trục (trục) ở phía dưới, có thể bảo vệ các thiết bị đầu cuối và dây khỏi tác dụng của plasma và khí hóa học ăn mòn. Một đầu vào khí dẫn nhiệt và ống đầu ra được cung cấp trong cơ thể hỗ trợ để đảm bảo nhiệt độ đồng đều của lò sưởi. Cơ sở và cơ thể hỗ trợ được liên kết hóa học với một lớp liên kết.

Semicorex cung cấp chất lượng caoMáy sưởi gốm. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com