Các bộ phận gốm bán dẫn

Các bộ phận gốm bán dẫn thuộc về gốm sứ tiên tiến và là một phần không thể thiếu của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Các nguyên liệu thô để chuẩn bị thường là các vật liệu vô cơ cực cao, cực hữu, như nhôm oxit, cacbua silicon, nhôm nitride, silicon nitride, yttri oxit, zirconium oxit, v.v.

Oxit nhôm

Nó được sử dụng rộng rãi, và hiệu suất sản phẩm thay đổi tùy theo độ tinh khiết. Độ tinh khiết 95% có màu vàng nhạt và độ tinh khiết 99% là Bạch Tuyết. Nó có độ cứng tuyệt vời, sức mạnh, khả năng chống mài mòn, khả năng chống nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn, và có thể được sử dụng để chuẩn bị hầu hết các bộ phận gốm bán dẫn, như vòi phun gốm, cánh tay gốm, v.v.

Carbide silicon

Nó có màu đen, có độ dẫn nhiệt cao, cường độ và độ cứng cao, trọng lượng nhẹ, khả năng chống sốc tốt và thường được sử dụng để chuẩn bị cánh tay chân không và cốc hút chân không.

Nhôm nitride

Nó có độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở nhiệt phù hợp với silicon, hằng số điện môi thấp và mất điện môi, và có thể được sử dụng để tạo ra chất nền phân tán nhiệt, vòi phun gốm, v.v.

Silicon nitride

Điểm nóng chảy cao, độ cứng cực cao, trơ hóa học cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp, độ dẫn nhiệt cao, khả năng chống sốc nhiệt tốt, khả năng chống va đập cao và cường độ dưới 1200, thường được sử dụng để tạo ra chất nền gốm, ống gốm, v.v.

Oxit yttri

Điểm nóng chảy cao, độ ổn định hóa học và quang hóa tốt, độ dẫn nhiệt cao, độ truyền ánh sáng tốt, thường được kết hợp với alumina để tạo ra các cửa sổ gốm.

Oxit zirconium

Độ bền cơ học cao, điện trở nhiệt độ cao, kháng axit và kiềm, cách nhiệt tốt, theo nội dung khác nhau có thể được làm từ các sản phẩm gốm cho các mục đích khác nhau, chẳng hạn như chất nền mạch tích hợp, v.v.

Các loại bộ phận:

Các bộ phận gốm bán dẫn "toàn bộ" với các chức năng khác nhau được sử dụng rộng rãi trong các loại thiết bị khóa bán dẫn khác nhau, chủ yếu bao gồm các loại sau:

Cánh tay gốm bán dẫn

Đóng vai trò trong thiết bị bán dẫn khi vận chuyển tấm wafer và cần phải làm việc trong môi trường sạch chân không. Thường được chuẩn bị với cacbua alumina hoặc silicon có độ tinh khiết cao, alumina có hiệu quả về chi phí và được sử dụng nhiều hơn.

Chất nền gốm

Được áp dụng trong các trường bao bì điện tử khác nhau, chẳng hạn như các thiết bị điện tử, laser, v.v., và thường được điều chế bằng các vật liệu như alumina và silicon nitride.

Vòi gốm

Trong HDP-CVD, chất lượng của nó ảnh hưởng đến độ tinh khiết và tốc độ dòng chảy của khí phản ứng. Gốm sứ nhôm nitride phù hợp hơn cho các thiết bị xử lý tiên tiến do hiệu suất tuyệt vời của chúng.

Cửa sổ gốm

Nó là một thành phần quan trọng của chất Etcher bán dẫn. Nó có thể được niêm phong chân không mà không ảnh hưởng đến sự thâm nhập plasma. Nó thường được làm bằng alumina và oxit yttri.

Bìa buồng gốm

Nó là một thành phần chính của thiết bị lắng đọng màng mỏng, rất quan trọng để đảm bảo chất lượng của wafer và niêm phong buồng phản ứng.

Geramic chân không

Nó được sử dụng để định vị và kẹp wafer silicon. Nó là một loại gốm xốp làm bằng hai vật liệu gốm.

Quy trình chuẩn bị:

Quá trình chuẩn bị các bộ phận gốm bán dẫn "thủ công" rất phức tạp, chủ yếu bao gồm các bước sau:

Chuẩn bị bột

Các nguyên liệu thô cần phải được xử lý lại, và bột thô đáp ứng các yêu cầu có được thông qua việc ghép, phay bóng cơ học, sấy phun và các quy trình khác.

Đúc bột

Nước ép khô, ép đẳng hướng, đúc băng, ép phun, ép gel và các phương pháp khác thường được sử dụng để biến bột thành cơ thể màu xanh lá cây gốm.

Thiêu kết nhiệt độ cao

Cơ thể màu xanh lá cây gốm được biến thành một cơ thể nấu chín dày đặc thông qua thiêu kết áp lực bình thường, thiêu kết chân không, thiêu kết khí quyển và các phương pháp khác.

Gia công chính xác

Cơ thể nấu chín gốm thiêu kết được xử lý với máy tiện CNC, máy mài, vv để đạt được kích thước và độ chính xác cần thiết.

Kiểm tra chất lượng

Sự xuất hiện, kích thước, độ xốp, độ nhám và các tính chất khác của các bộ phận gốm được kiểm tra để đảm bảo chất lượng sản phẩm.

Xử lý bề mặt

Bề mặt của các sản phẩm vượt qua kiểm tra chất lượng được làm sạch, và cần phải xử lý bề mặt cho các nhu cầu đặc biệt, chẳng hạn như phun hồ quang, phun plasma, v.v.

Semicorex cung cấp chất lượng caoCác bộ phận gốmtrong chất bán dẫn. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com