Cách các vật liệu nâng cao giải quyết 3 thách thức quan trọng trong thiết kế lò bán dẫn

Cuộc đua để thu hẹp kích thước bóng bán dẫn và hiệu quả pin mặt trời quy mô đang đẩy thiết bị xử lý nhiệt đến giới hạn của nó. Tại Semicorex, chúng tôi đã dành hai thập kỷ hợp tác với các nhà sản xuất chất bán dẫn và PV hàng đầu để giải quyết một điểm đau tái phát: khi các vật liệu tiêu chuẩn thất bại trong điều kiện khắc nghiệt, toàn bộ lô sản xuất có thể bị xâm phạm.

Lớp phủ CVD: Bộ giáp cho các thành phần quy trình

Lớp phủ hơi hóa học (CVD) như silicon cacbua (sic) và cacbua tantalum (TAC) đang cách mạng hóa tuổi thọ thành phần trong môi trường khắc nghiệt:

Lớp phủ sicThuận lợi:

Chịu được nhiệt độ lên tới 1.650 ° C trong khí quyển trơ

Giảm ô nhiễm hạt trong các lò phản ứng tăng trưởng epitical

Mở rộng tuổi thọ dịch vụ của các chất nhạy cảm than chì 3-5 lần

Lớp phủ TACtrong các rào cản khuếch tán:

Ngăn chặn sự xâm nhập của silicon nóng chảy trong các loại hình chữ hoa (99,999% duy trì độ tinh khiết)

Giảm thiểu Wafer Warpage trong quá trình xử lý nhiệt nhanh (RTP)

Khi nhiệt độ vượt quá 1600 ° C: Lợi thế lớp phủ CVD

Đây không phải là phép thuật - đó là khoa học vật liệu. Quá trình CVD độc quyền của chúng tôi lắng đọng cả lớp phủ SIC và TAC với độ chính xác ở cấp độ nguyên tử, tạo ra các bề mặt mà:

Chống ăn mòn hơi silicon dài 3 lần so với lớp phủ tiêu chuẩn

Duy trì sự thay đổi độ dày <0,5.

Loại bỏ sự phân tách lớp phủ ngay cả khi đi xe đạp nhiệt

Cuộc khủng hoảng im lặng trong tính đồng nhất nhiệt

Trong các lò tăng trưởng tinh thể, phân phối nhiệt độ không nhất quán có thể biến một thỏi silicon $ 250K thành phế liệu. Thông qua những đổi mới vật chất như:

Cảm giác than chì được phân loại mật độ (thiết kế gradient 0,18-0,25g/cm³)

Các chất cách điện carbon-carbon với tình trạng anisotropy mở rộng nhiệt <2%

... Chúng tôi đã giúp khách hàng đạt được:

✔ ± 1,5 ° C đồng nhất nhiệt độ trục trong hệ thống Czochralski 300mm

✔ Tốc độ làm mát nhanh hơn 40% mà không bị nứt trong suốt

Tại sao sự tinh khiết thạch anh quan trọng hơn bao giờ hết

Khi một xưởng đúc MEMS cấp 1 truy tìm các khuyết tật hạt vào lớp lót buồng khắc của chúng, dung dịch thạch anh hợp nhất không có bong bóng của chúng tôi:

Giảm ô nhiễm kim loại xuống 89% (phân tích ICP-MS)

Khoảng thời gian bảo trì phòng ngừa mở rộng từ 3 đến 8 tháng

Đạt được độ tinh khiết ban đầu 99,999% với hàm lượng kim loại kiềm <0,1ppb

Ngoài thông số kỹ thuật: Các vấn đề kỹ thuật ứng dụng

Trong khi các thông số kỹ thuật cung cấp các so sánh cơ bản, hiệu suất trong thế giới thực phụ thuộc vào:

• Khớp nối quá trình vật liệu - Cách các thành phần tương tác với các hóa chất cụ thể (ví dụ: Cl₂ so với SF₆ Plasma)

• Thư viện chế độ thất bại - Cơ sở dữ liệu của chúng tôi gồm hơn 1.200 trường hợp lỗi thành phần thông báo lựa chọn vật liệu

• Phân loại tùy chỉnh - Điều chỉnh độ xốp/độ dẫn của than chì trên các mặt cắt ngang một phần

Semicorex cung cấp chất lượng caoTantalum cacbua trángVàSilicon cacbua trángcác bộ phận tùy chỉnh. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu hoặc cần chi tiết bổ sung, xin vui lòng không ngần ngại liên lạc với chúng tôi.

Liên hệ với điện thoại # +86-13567891907

Email: sales@semiaorex.com