Thạch anh dùng để làm gì trong chất bán dẫn?

Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, các bước từ phát triển tinh thể silicon đến khuếch tán oxy hóa, từ ăn mòn đến làm sạch, các thành phần cấu trúc thạch anh đều tham gia vào toàn bộ quá trình. Với sự phát triển của các quy trình tiên tiến, khả năng chịu ô nhiễm bởi tạp chất và hạt kim loại ngày càng trở nên thấp hơn ở mỗi bước.

cácthạch anh tổng hợpcó các đặc tính như độ tinh khiết cao, không bong bóng, không chứa hạt tạp chất, độ truyền tia cực tím cao, v.v. Nó dần thay thế vật liệu thạch anh tự nhiên truyền thống trong quy trình sản xuất tiên tiến, có thể cải thiện đáng kể năng suất và kéo dài tuổi thọ.

01 Nhẫn khắc

Dưới sự bắn phá của plasma (chứa khí gốc flo và clo có khả năng phản ứng cao), vật liệu đòi hỏi độ trơ hóa học và khả năng chống ăn mòn cực cao. Đồng thời, vật liệu thạch anh cần phải có độ tinh khiết cực cao để ngăn ngừa ô nhiễm hạt do ăn mòn. Vòng khắc là thành phần tiêu hao; Hiện nay hầu hết các thiết bị đều sử dụng thạch anh tự nhiên. Tuy nhiên, một số quy trình tiên tiến (2nm, 5nm và các quy trình khác dưới 28nm) đã thay thế chúng bằng các vòng khắc thạch anh tổng hợp do sự kiểm soát chặt chẽ đối với các hạt và ion kim loại.

02 Vòm Thạch Anh

Một cửa sổ quan sát hình vòm trong suốt được lắp đặt ở phía trên cùng của buồng phản ứng trong thiết bị khắc và lắng đọng màng mỏng (như CVD). Nó không chỉ cần độ tinh khiết cực cao để ngăn tạp chất làm ô nhiễm buồng xử lý mà còn yêu cầu một số đặc tính quang học nhất định để cho phép tín hiệu ánh sáng từ hệ thống phát hiện đi qua để theo dõi quy trình theo thời gian thực. Thạch anh tổng hợp, với độ truyền qua cực cao và độ tinh khiết cao, được sử dụng rộng rãi trong DOME (Quá trình oxy hóa khuếch tán).

03 Ống lò

Trong các lò khuếch tán/oxy hóa ở nhiệt độ cao, nó đóng vai trò là thùng chứa lõi hình ống giữ tấm bán dẫn và thực hiện phản ứng của quá trình. Cần có khả năng chịu nhiệt cực cao, cho phép hoạt động lâu dài ở nhiệt độ trên 1200°C mà không bị mềm hoặc biến dạng. Thạch anh tự nhiên do hàm lượng Al cao và hàm lượng hydroxyl thấp nên đạt được khả năng chịu nhiệt cao và được sử dụng rộng rãi trong các ống lò. Tuy nhiên, khi các quy trình tiên tiến áp đặt các biện pháp kiểm soát ngày càng nghiêm ngặt đối với các ion tạp chất kim loại trong buồng, vật liệu thạch anh tổng hợp chịu nhiệt cao đang dần thay thế các ống lò thạch anh tự nhiên.

04 Bể làm sạch

Dùng để chứa các dung dịch làm sạch có độ tinh khiết cao, có tính ăn mòn cao (như SC1, SC2, axit hydrofluoric, axit sulfuric, v.v.) để làm sạch ướt các tấm bán dẫn. Vật liệu thạch anh có khả năng chống ăn mòn axit và kiềm tuyệt vời: chúng có thể chống lại sự ăn mòn của hầu hết các axit mạnh (trừ axit flohydric và axit photphoric nóng), đảm bảo bể không bị ăn mòn khi sử dụng lâu dài. Tuy nhiên, khi sử dụng kéo dài, các ion kim loại trong bể thạch anh dần bị giải phóng, dễ gây ô nhiễm. Thạch anh tổng hợp cấp PPB làm giảm hiệu quả ô nhiễm ion tạp chất kim loại và tính chất không có bong bóng của nó làm cho nó phù hợp hơn để xử lý các bề mặt mịn, dày đặc, giảm độ bám dính của chất gây ô nhiễm.

05. Cửa sổ bảo dưỡng UV

Được lắp đặt trên thiết bị xử lý bằng tia cực tím, nó đóng vai trò như một cửa sổ truyền tia cực tím. Trong số tất cả các vật liệu quang học, thạch anh tổng hợp có độ truyền qua cao nhất trong dải tia cực tím sâu (DUV) đến tia cực tím (UV) (xuống tới 185nm). Độ bền cao và khả năng chống bức xạ của nó cũng đảm bảo rằng hiệu suất của nó không bị suy giảm hoặc biến màu khi chiếu tia UV kéo dài.

06. Hãng vận chuyển bao bì tiên tiến

Trong các quy trình đóng gói tiên tiến (chẳng hạn như Fan-Out, IC 2.5D/3D), tấm mang thạch anh tổng hợp có thể được sử dụng làm tấm mang để hỗ trợ, cố định, vận chuyển và xử lý tạm thời các tấm bán dẫn siêu mỏng hoặc tái tạo các tấm bán dẫn. Vật liệu thạch anh tổng hợp có thể được xử lý để đạt được độ phẳng và độ cứng tuyệt vời, mang lại sự hỗ trợ vững chắc cho các chip siêu mỏng và đảm bảo độ chính xác của quy trình.

Semicorex cung cấp sản phẩm chất lượng caothành phần thạch anh tùy chỉnhđể xử lý khác nhau. Để biết các giải pháp tùy chỉnh hoặc thông tin kỹ thuật bổ sung, vui lòng liên hệ với nhóm kỹ thuật của chúng tôi.

Điện thoại: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com